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duv和euv区别?
发布网友
发布时间:2022-05-18 19:49
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热心网友
时间:2023-10-28 07:15
DUV是深紫外线,EUV是极深紫外线。从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
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