用椭偏仪测薄膜厚度和折射率是对薄膜有何要求

发布网友发布时间：2022-05-06 09:27

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热心网友时间：2022-06-29 06:16

在现代科学技术中，薄膜有着广泛的应用。因此测量薄膜的技术也有了很大的发展，椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一。

热心网友时间：2022-06-29 06:17

椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率
在现代科学技术中，薄膜有着广泛的应用。因此测量薄膜的技术也有了很大的发展，椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一。椭偏法测量具有如下特点：
能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级。
是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精密方法：如称重法、定量化学分析法简便。
可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。
对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法
椭偏仪的光路图

椭偏仪的基本原理

入射光的P分量

入射光的S分量

反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量
r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1, n2, n3,f1，d，l）

热心网友时间：2022-06-29 06:17

薄膜透明，知道有几层膜，是什么膜。