激光器原理图解
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发布时间:2024-04-07 15:28
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时间:2024-04-19 12:42
用于光通信的激光器,以半导体激光器为主,主要分两种类型,边发射与面发射
▲边发射
▲面发射
VCSEL
VCSEL,叫垂直腔面发射
?垂直腔,两组布拉格光栅做发射腔
▲VCSEL历史
▲VCSEL应用
▲典型氧化物*结构
这个*,一是*光场,二是降低阈值电流
FP与DFB
FP与DFB都是边发射激光器,FP结构的激光器,是通过两侧反射镜做光反馈,DFB是通过光栅做光反馈
▲FP的反射腔
▲DFB的布拉格反射
▲FP无需刻蚀光栅,工艺简单
▲DFB需要刻蚀光栅,工艺复杂
▲FP是多纵模激光器
▲DFB是单纵模激光器
DFB的RWG与BH结构
DFB激光器应用广泛,常用的RWG结构,与BH结构
▲紫色是波导结构
RWG,脊波导,上图紫色是波导设计,工艺简单
BH,异质掩埋,掩埋的是有源层,工艺复杂
为什么要掩埋?
RWG结构的有源层是下图这样
脊型波导,再通过两侧折射率差,将光场压缩至椭圆形,下图
掩埋结构,把有源层做窄
那它的光场压下来,就是接近于圆形
BH结构的圆形光斑,非常适用于通信,与光纤耦合效率高,功率大,阈值电流低(功耗低)
EML
EML,是DFB结构与EAM电吸收调制器的集成器件
半导体有激子吸收效应,也就是可以吸收光,那DFB的光,一会儿吸收一会儿不吸收,对外界看起来就是1,0的区别
▲EML ▼DML
电吸收调制器原理
外加电场后,能带发射概念
吸收波长偏移,产生调制效果
DBR激光器
DBR激光器与DFB类似,只一半光栅,可以通过电流调整相位,也就是说可以通过电流的大小,调谐输出波长
可调谐激光器
可调谐激光器,就是能调输出波长,上一类的DBR是可以做调谐的。
最简单的一种,就是温度调谐,DFB激光器可以随温度变化而变化,那让他工作在不同温度,就可以实现不同波长
把激光器级联起来,就可以调更多的波长了的。
另一种,就是双臂结构,设计俩激光器(各种类型都行),用游标效应。
咱FP出来的是多纵模,
两组FP,纵模间隔略作差异设计
能对准的就可以激射,向游标卡尺一样
这种双臂结构,有好些设计,原理都类同
还有已与采样光栅的DBR
量子级联激光器
量子级联激光器主要用在
咱们DFB是多量子阱结构(十来个),量子级联就是3个,通过量子隧穿三步完成激射
电子不断从高能级向低能级跳,辐射出光子能量
QCL量子级联激光器,同样可以做FP、DFB、外腔调制各种类型,波长集中在红外
气体激光器
气体激光器是用气体做增益物质,CO2激光器是应用比较多的一种,主要在激光加工行业
CO2激光器,有一种辅助气体氮气,电击中氮气后,能量增加会被CO2吸收,再通过两侧反射镜,就激射出光
光纤激光器
光纤激光器,增益物质叫增益光纤
普通传输信号的光纤是单包层,不产生增益
增益光纤是双包层
在泵浦光的作用下,纤芯就吸收能量,产生增益。增,就是放大
光纤激光器,主要用于激光加工行业
准分子激光器
准分子激光器,也是一种气体激光器,他俩的区别在于CO2做不了超快激光器,它的加工过程产生热量,对加工面有损伤
准分子激光器,破坏的是物质的肽键,对加工面不产生破坏力
准分子的准,是说常态下这些分子不存在,只有激发状态下才有,常用这些惰性气体做准分子激光器,193nm是半导体光刻工艺中最常用的
常态下没有ArF这种分子,分别是蓝色的氟和红色的氩
收到激发时,产生一个极端时间的ArF分子,从高能级跳下时分开同时产生一颗光子
这个超短脉冲,破坏分子肽键,这就是加工过程
世界上第一台激光器--红宝石激光器
1960年,梅曼发明第一台激光器,是红宝石激光器
用红宝石做增益物质,在泵浦灯光作用下产生辐射,通过两个反射片进行放大,就是LASER,受激辐射光放大
YAG激光器
类似,把红宝石晶体,换成钇铝石榴石,就叫YAG激光器,也是用于激光加工市场
自由电子激光器
这是用于军事上的一类能量激光武器,可以穿透钢板
目前体积也很大
它的原理很简单,用电子摆动起来(像波),光是电磁波
用波动的电子做谐振,产生加速,产生巨大的光能量
如何让电子产生波动性?磁可以改变电的方向
用一组极*替分布的磁,让电子穿过去
电子就产生扭摆
这就成了自由电子激光器
太赫兹激光器
太赫兹,是个新兴技术,它的电磁波频谱介于微波与红外之间,(国华用绿色标志),刚好位于电学与光学范畴的交接点,太赫兹可以用于安检、以及早期癌症检测等等领域
它既可以做太赫兹电学应用,也可以做光学应用,光学上加反射腔等也可以做激光器
用超短激光打在两片电极中间,就可以激射出太赫兹波
它的电极(电学范畴这样)
太赫兹的传输,发射与接收
去年,MIT 在nature发表一个中红外太赫兹激光器,波长100um
▲激射太赫兹
▲同频同相,进行锁频放大
光纤激光器的工作原理
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