铝酸压铜靶材用处
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发布时间:2022-12-29 14:44
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热心网友
时间:2023-06-26 06:18
铝酸压铜靶材用处主要应用在半导体、显示面板、记录媒体、光伏等领域。铝酸压铜靶材的核心功能是作为沉积薄膜的溅射源,按材质可分为金属靶、陶瓷靶与合金靶。
热心网友
时间:2023-06-26 06:19
铜金属和氧化铝(Aluminum Oxide,Al2O3)混合物制成,具有特殊的结构和性能,适用于特定的应用场景。
铝酸压铜靶材的用处主要体现在以下方面:
1. 纹理控制:铝酸压铜靶材具有特殊的微观结构,可以控制薄膜沉积时的晶体生长方向和纹理,从而影响薄膜的表面形貌和性能。特定的纹理控制对于一些特殊应用中的薄膜性能要求至关重要。
2. 热稳定性:铝酸压铜靶材具有较好的热稳定性,能够在高温下保持稳定的物理和化学性质。这使得它在高温制备和高温沉积过程中能够长时间保持稳定的性能,适用于一些需要高温处理和沉积的应用领域。
3. 电学性能:铝酸压铜靶材在电学性能方面具有良好的特性,如电导率和电子迁移率等。这使得它在电子器件、光电子器件和电子陶瓷等领域中被广泛应用,用于薄膜沉积和电子传输。
4. 化学惰性:铝酸压铜靶材具有一定的化学惰性,可以抵抗与环境中的气体和化学物质的反应,保持靶材的稳定性和使用寿命。