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立式接触式干涉仪标定方法
发布网友
发布时间:2023-03-08 16:38
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热心网友
时间:2023-10-09 19:08
立式接触式干涉仪标定方法为比较法。根据查阅相关资料显示接触式干涉仪是应用光波干涉原理,对微小位移进行测量的精密仪器。采用比较法,即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法,其可用于检定长度不大J150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为+50分度,刻度尺的分度值(可调)推荐采用的为0.05pm、0.lm、0.2pm三种。
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