甲氧基硅烷能用来改性硅片吗

发布网友发布时间：2022-05-14 00:13

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热心网友时间：2023-11-10 17:06

SiH4硅烷。你说的应该是 CVD设备的尾气处理装置中的燃烧塔，如果是，那么燃烧塔中主要是多余的SiH4和H2其燃烧处理掉不要直排大气，同时也有掺杂的气体如 BH3，PH3， AsH3等（这些气体剧毒，易燃，危害很大）的尾气燃烧处理。如果单单是SiH4和 H2燃烧，那么产物是很安全的， SiO2和水，如果说回收，这个SiO2还是有意义的，毕竟很细，你可以去坐坐粒度分析和形貌分析。如果有掺杂气体 BH3，PH3， AsH3等的燃烧，那么建议你不要去考虑回收，这些气体燃烧的产物很可能有 As2O3，就是常说的砒霜， P的化合物（多半有毒，酸性），B的化合物（毒性小，酸性）。

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