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请问蓝宝石衬底行业对LTV要求很高?
发布网友
发布时间:2022-05-29 10:39
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热心网友
时间:2023-10-16 00:47
大多是PSS制程使用的平片衬底的LTV要求较高。影响黄光曝光制程。追问影响黄光曝光的一般在LTV什么水准范围内为最好或者说最稳定呢?目前我们水准在AVG=1.45左右
追答一般来讲的指标要求是LTV(5UM*5UM) ≦1.5um
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