MEMS传感器发展状况

发布网友发布时间：2022-05-29 07:44

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热心网友时间：2023-10-11 13:09

“十五”期间，中科院组织全院近20家研究所开展联合攻关。在重要传感器件方面，自主开发了MEMS(微机电系统)振动传感器、MEMS声响传感器、MEMS红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以MEMS传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。在系统层面，研制出了5个系列9种传感网端机、4个系列基站等原型样机，在低功耗、微型化等方面研究取得突破。在专用网络研究方面取得重大突破，利用研制的传感网设备可组成多种类型的传感网络，并成功实现了各种无线传感网络与公共网络、卫星网络的加密互联。同时，研制完成了无线传感网核心协议芯片。

另外，基于MEMS技术的生物微传感技术和生物芯片技术在生命科学研究、生物医学工程、医疗保健、食品加工、环境检测等领域有广阔的应用前景。

热心网友时间：2023-10-11 13:10

建议参考
mems技术与制造
机械工业出版社的,熊继军等译
我的教科书