发布网友 发布时间:2022-05-25 15:40
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热心网友 时间:2023-11-11 11:29
当器件工作时,金属互连线内有一定电流通过,金属离子会沿导体产生质量的输运,其结果会使导体的某些部位产生空洞或晶须(小丘),这就是电迁移现象。 产生电迁移失效的原因内因:薄膜导体内结构的非均匀性(多晶);外因:电流密度变大;