真空主要有什么元件组成
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发布时间：2022-04-22 04:39
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时间：2022-07-20 20:34
一个真空系统，主要包括真空获得和负载两部分，真空获得部分，简单的是由低真空机组+高真空机组+相关真空阀等组成。
低真空设备一般是和大气相连，作为高真空设备的前级泵，目前常用的低真空设备，旋片泵、滑阀泵等，其工作范围，大气—0.1Pa
高真空设备是在前级设备配合下来实现对负载进行高真空获得的，由于高真空设备的特殊性，不能直接在大气状态下工作，常用高真空泵主要有扩散泵、分子泵、气体捕集泵等，工作范围，10^1—10^-5Pa
简单系统组合
旋片泵+扩散泵
旋片泵+罗茨泵+扩散泵
旋片泵+罗茨泵+分子泵
