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石墨舟放入pecvd中会出现高频报警是什么原因

发布网友 发布时间:2022-05-26 03:31

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2个回答

热心网友 时间:2023-09-14 14:54

最有可能的原因是石墨舟有短路地方,你得仔细检查下是不是有太脏的东西。。我不知道你的石墨舟是插满片子还是??如果是插了片子很有可能插的片子脱落造成短路,还有就是管内脱落的硅片太多。总之,往短路方面查找把。。追问谢谢!是没放硅片的!镀膜时候会出现电压不稳!从6V到430V不等,是因为短路吗??

热心网友 时间:2023-09-14 14:55

那就是石墨舟规格跟炉子规格不匹配了追问但是两套有一套偶尔可以,而且出来的片子效果还挺好的!这是为什么呢?还望赐教高手!

追答石墨舟有问题 刚刚还有人问我了

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