发布网友 发布时间:2024-10-31 16:23
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热心网友 时间:2024-11-13 13:27
1000级超净间的定义是:每1立方英尺内直径大于0.5微米的灰尘不超过1000个。
超净间介绍如下:
超净间(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「超净间」。
超净间标准介绍如下:
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,超净间等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化。
M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
超净间缺点介绍如下:
乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
热心网友 时间:2024-11-13 13:27
千级净化车间(超净间、洁净室)是一种非常高级别的净化车间,其主要目的是保持内部空气质量,以满足特定的生产要求,如半导体、制药、生物工程等领域。以下是千级净化车间的一些常见标准: