转:经典实验-薄膜/极片-溅射仪镀膜-机械泵回油检测报告
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发布时间：2024-10-16 01:19
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时间：2024-11-05 14:52
经过科晶实验室针对客户反馈的扫描电镜镀金效果不佳的问题，进行了机械泵、机械泵加冷阱和爱德华分子泵的对比实验。实验目的是通过溅射金膜，观察并比较三种情况下金膜的质量。实验使用了磁控溅射仪VTC-16-SM、TRP-12机械泵、氩气、金靶、冷阱以及爱德华分子泵等设备，由市场部和刘丛辉实验员进行操作。
对比结果显示，客户提供的样品表面形貌清晰，而科晶实验室的样品腐蚀和抛光形貌模糊，显示出差距。在球形形态方面，尽管冷阱和分子泵有改善，但与客户案例相比仍存在明显不足。具体到镀金质量分析：
案例①显示，使用干泵（第3组）的样品杂质总量最少，金膜平整度优于其他组别，尽管不同滤镜下金膜颜色各异，但并不影响表面形貌的评估。
案例②中，同样得出干泵（第3组）效果最佳，优于带有冷阱和油泵的样品，冷阱对镀膜效果的提升较为明显，而干泵的镀膜质量最为优良。
