TFT-LCD显示面板的制造工艺流程

发布网友发布时间：2024-08-22 14:18

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热心网友时间：2024-08-30 07:14

TFT-LCD显示面板的制造过程是一系列精密的半导体工艺集成，以玻璃基板为核心。其工艺流程主要包括TFT panel process、CF process（彩色滤光片）、Cell process（液晶单元）和Module process（模组组装）。

TFT panel process首先通过ITO薄膜在玻璃上形成导电线路，控制液晶分子的运动。采用背沟道刻蚀型TFT结构，通过5个步骤进行：首先是Gate电极的形成，接着是Gate绝缘层和非晶硅小岛（Island）的制作，然后是源、漏电极及沟道的形成，保护绝缘层和过孔的添加，最后是透明像素电极ITO的完成。整个过程涉及光刻、溅射成膜、湿刻和干刻等精密技术。

CF process涉及彩色滤光片的制造，包括形成黑色基体、彩色抗蚀剂涂覆、曝光、显影和烘烤，以及铟锡氧化层和支撑柱状隔垫物的形成，这些步骤确保了高对比度和图像质量。

Cell process是将Array玻璃与彩色滤光片结合，注入液晶，并通过PI涂布、摩擦处理（包括预倾角控制）和框胶等工艺，确保液晶的正确排列和封装。

Module process则包括COG和FPC邦定，以及组装背光模组等，通过精细的电路连接和组装，形成完整的显示模块。

了解这些工艺流程不仅对制程人员至关重要，对于与之合作的其他部门，也能帮助解决问题，提高效率。整个过程展示了TFT-LCD制造的复杂性和技术含量。