发布网友 发布时间:2024-09-28 03:26
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热心网友 时间:2024-10-27 13:39
光谱椭偏仪的构造因其测量需求而有所不同,但核心目标是测量样品反射后光的偏振状态变化量ρ。一种常见配置是通过旋转起偏器和固定检偏器,起偏器用于设定初始偏振状态,检偏器则用来测定输出光束的偏振状态。另一种设计则是固定起偏器和检偏器,通过声光晶体等手段调制光的偏振状态,最终测量输出光束的特性。
在选择椭偏仪时,要考虑光谱范围和测量速度。光谱范围广泛,从142纳米的深紫外到33微米的红外,具体选择取决于应用需求。不同的光谱范围能够揭示材料的特性信息,因此仪器必须匹配测量目标的光谱范围。
测量速度由所选的分光仪器决定。单色仪通过精确选择单一波长,虽然测量准确但速度较慢,适用于对波长控制要求高的情况,能减少入射光对样品的影响。另一种快速测量方法是使用同时测量整个光谱的设备,如复合光束分光计或傅立叶变换分光计,它们能快速获取所有波长的数据,特别在需要高效处理红外光谱时更为常用。
早期的研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展使椭偏仪在更多的领域得到应用。硬件的自动化和软件的成熟大大提高了运算的速度,成熟的软件提供了解决问题的新方法,因此,椭偏仪现在已被广泛应用于研究、开发和制造过程中。