发布网友 发布时间:2024-10-02 05:51
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热心网友 时间:2024-10-15 06:30
华林科纳,一家深耕半导体湿法领域近三十年的领先高科技企业,专注于泛半导体湿制程装备和氟塑料流体产品的研发与生产。作为湿法垂直领域的引领型企业,华林科纳面向上下游泛半导体湿法工艺装备及部件企业,构建了一个服务平台。此平台旨在共享湿法数据,服务新品开发,加强行业交流,*传统运行模式,重构行业生态。
PTFE(聚四氟乙烯)材料作为一种半结晶含氟聚合物,具备极高的热稳定性和化学抗性。其熔点范围广泛,从-200℃至正260度,甚至在短期可达300℃。PTFE材料还具有极佳的滑动特性、出众的电气抗性和非黏结表面。虽然机械强度较低,但比重较高。PTFE材料通过压缩成型制程制成半成品,随后通过切割或机修工具进行加工。
华林科纳的风囊泵,是处理环境温度、超纯再循环和输送应用的理想选择。这些泵完全不含金属,并通过独特的梭阀运行,无需复杂的制动装置和手动重置。在两年保修期内,它们安全可靠地运行,提供高达7 Bar (100 psi) 的供气压力,并在流体温度高达100°C (212°F) 的热循环应用中表现出色。风囊泵拥有CSE30、CSE60、CSE120和CSE140四种型号,最大流量分别为30、60、120和140 lpm。
华林科纳的风囊泵设计独具匠心,波纹管承受工作负荷冲击。其长寿命波纹管设计结合多年制造经验,确保泵的可靠性和安全性。采用100% PTFE粉末压制,这些泵特别适合处理苛刻的化学品使用的晶圆制造工艺。
风囊泵产品参数包括但不限于以下特点与优势:
磁悬浮驱动叶轮、独立于稳定功能的电机旋转叶轮、工艺安全的PTFE、PFA流路、无泄漏舌槽密封等特色,确保了风囊泵在高纯度化学品和DIW应用中的工艺安全。这些设计降低了颗粒生成和剪切,提高工艺产量,并延长了CMP再循环中的过滤器寿命。同时,无阀门、轴承、旋转密封件或机械接触部件的设计减少了磨损,延长了正常运行时间,降低了维护成本。
华林科纳风囊泵通过验证,证明其可靠性,CSE30、CSE60、CSE120 和CSE140型号分别经过了400、300或2亿次以上的循环测试。
风囊泵的工作原理基于压缩空气的利用,通过气相工作腔的气囊变形移动,借助梭阀控制压缩空气的顺序进入,实现液体的输送。此设计通过最大限度地减少振动、脉动和磨损,提高了性能和可靠性。
华林科纳提供全面的安装和操作指南,以确保安全、有效的使用。对于空气供应、安装方向、计时器方式、所需的空气流量和气流、供气压力、液体入口/出口连接、带有梭阀的脉冲减振器以及压力开关行程检测电气连接等方面,都提供了详细说明和注意事项,以保证泵的正确安装和安全操作。
华林科纳还提供一系列配件,包括仪表、过滤器、控制器、高纯闭环控制系统、循环率转换器等,以满足客户的不同需求。此外,华林科纳特别成立了监理团队,为客户提供专业的项目实施、监督、控制、检查服务,实现高质量的监理,从而降本增效。通过仿真技术,可以对潜在情况进行系统、科学、合理的预测,有效避免资源浪费,助力科研人员和技术工作者做出正确的决策,解决物理机械设计和耐受性制造中遇到的难题。