evu与dvu的区别

发布网友发布时间：2024-10-05 00:27

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热心网友时间：2024-10-09 04:16

最大区别是二者光源波长不同。
euv与duv是指光刻机的两种类型，其中euv光刻机是指使用极紫外光光源，其波长为13.5纳米。而duv光刻机是指使用深紫外光光源，其波长是193纳米。euv光刻机是目前全球最高端光刻机，而duv光刻机从28到193纳米为中低端光刻机。

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