光刻机duv和evu的区别

发布网友发布时间：2024-10-05 00:27

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热心网友时间：2024-10-12 16:16

最大区别是二者光源波长不同。
光刻机duv和euv最大区别是二者光源波长不同，duv光源为深紫外光，波长193纳米，euv光源为极紫外光，波长13.5纳米。duv光源是汞灯光源，euv是激光轰击锡滴微粒产生的。再者就是euv的各零件组的精度更高，价格也更贵。

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