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高精度的纳米级位移传感器是怎么样的?能举例具体描述一下吗?

发布网友 发布时间:2022-04-26 23:56

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热心网友 时间:2022-06-20 16:47

ZLDS/N-100是一款非接触式高精度纳米级位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。纳米级位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,纳米级位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100纳米级位移传感器都是一款理想的测量工具。
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