请问PVD镀膜机中氩气的作用是什么?

发布网友发布时间：2022-04-25 00:00

共4个回答

热心网友时间：2023-07-08 19:03

AR+2是一种惰性气体（类似于氦气，氖气，氙气。。都属于惰性气体里面的），PVD（物理气相沉积）中，它是作为工作气体使用的，他的作用主要是用于PVD中的辉光（清洗），沉膜时的工作气体等。因为它是惰性家族中的气体这一，活性没有其它（如乙炔，甲烷，氮气，氧气）气体强；生产中，用氩气作为工作气体的主要是从经济上考量，成本相对于其它惰性气体是最便宜的，其次是氦气（在PVD或真空中），它用于检漏。本人从事PVD6年了，希望对你有帮助。给哥个最佳答案吧，第一次上知道来回答，谢谢。

热心网友时间：2023-07-08 19:03

清洗的作用，还有就是在镀膜的时候控制真空，

热心网友时间：2023-07-08 19:03

氩气是一种惰性气体应该起到避免与其它材料起化学反应吧

热心网友时间：2023-07-08 19:04

你是什么原理的镀膜机？热蒸发？电子束？离子镀？磁控溅射？离子束溅射？