PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何??

发布网友发布时间：2023-06-23 22:31

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热心网友时间：2024-11-23 21:38

客户一直说，与原厂的比较，现在的使用时间还是很差距，还要提高质量，这个石英管本身我们在做的时候，已经是非常严格的去控制他的质量，从材料与气泡方面应该说已经很好在国内石英材料来讲。我记得早期03-04年的时候，这个石英管是OD30*ID26*L1130mm，壁厚2.0mm，后来因为质量的原因才把石英管加厚，当初认为是可能质量会好一点。
我是想说：1、以上想法有可能有误解。
2、石英管在PECVD工艺中爆裂，不是因为因为温度，而是电磁波的原因。
3、国产外径30的石英管，壁厚越厚，气泡方面等缺点越难控制，反而壁厚薄，气泡越是能控制好，甚至没有，
不知，哪位高手愿意一起来合作配合，能否愿意来试，我可以提供石英管。
另外，现在缠绕的那个膜，你们是用国产的还是3M的。