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金薄膜的干法刻蚀原理
发布网友
发布时间:2023-06-26 11:26
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热心网友
时间:2023-10-18 10:11
等离子气体进行材料上的物理和化学双重蚀刻。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术,等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多,可以更快地与材料进行反应,还可以利用电场对等离子体进行引导和加速,轰击被刻蚀物的表面时,从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。
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