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干法蚀刻基底温度
发布网友
发布时间:2023-06-26 11:26
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热心网友
时间:2023-10-18 10:11
0到200摄氏度。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术,是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果,作用是去除边缘PN结,防止上下短路,基底温度为0到200摄氏度。干法刻蚀的原理是利用高频辉光放电反应,使CF4气体激活成活性粒子,分为物理性刻蚀、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀。
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