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半导体晶圆如何抛光?

发布网友 发布时间:2023-08-16 01:15

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热心网友 时间:2023-08-23 23:22

半导体晶圆的抛光主要分为以下几个工序:粗磨、精磨、粗抛、精抛。
首先粗磨和精磨工艺可以搭配研磨垫进行研磨,然后粗抛工艺可和吉致电子SiC粗抛垫进行抛光,最后精抛工艺可搭配阻尼布精抛垫抛光。
有关半导体晶圆的抛光可以关注无锡吉致电子公司~
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