PVD设备中平面靶和旋转靶的优缺点对比分析及原因

发布网友发布时间：2022-04-25 16:13

共2个回答

热心网友时间：2023-10-16 12:05

你只是听说而已~
盘状靶利用率经改良可达80%，而柱状靶经改良也不会超过50%的利用率。
盘状靶燃烧均匀性较好，柱状靶易在两头产生凹槽（磁场造成）。液滴随功率增大体积及数量增加，是因为功率增加温度上升，蒸发更剧烈产生的~其余改造方法，功率调整属于商业机密~

热心网友时间：2023-10-16 12:05

PVD苏州大市有可以做的厂?

声明：本网页内容为用户发布，旨在传播知识，不代表本网认同其观点，若有侵权等问题请及时与本网联系，我们将在第一时间删除处理。E-MAIL:11247931@qq.com