发布网友 发布时间:2022-04-25 23:27
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热心网友 时间:2022-06-18 18:09
如果直接暴露在大气压下会导致泵内压力过高,从而碎泵。分子泵是一种机械式增压泵。通过动翼将分子流导入,再通过静翼阻止气体分子的返流,如此将气体分子进行层层压缩,达到抽气效果。分子泵需要前级泵将压力抽至几十Pa时才能启动工作,分子泵用在提高真空的环境。
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。
法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。
盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种,一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。