中国有自己的光刻机吗?

发布网友发布时间：2022-04-25 20:48

共4个回答

热心网友时间：2022-06-17 07:00

中国有自己的光刻机，由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收，这是世界上首台用紫外光实现了22nm分辨率的超分辨光刻装备，为纳米光学加工提供了全新的解决途径。

在光电所的努力下，中国的光刻机研制跳出了缩小波长、增大数值口径来提高分辨力的老路子，为突破22nm甚至10nm光刻节点提供了一种全新的技术，也为超分辨光刻装备提供了理论基础。

扩展资料：

利用超分辨光刻装备，项目组为航天科技集团第八研究院、中科院上海微系统与信息技术研究所、电子科技大学、四川大学华西二院、重庆大学等多家单位制备了一系列纳米功能器件。

包括大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器、切伦科夫辐射器件、生化传感芯片、超表面成像器件等，验证了超分辨光刻装备纳米功能器件加工能力，已达到实用化水平。

参考资料来源：光明网——我国新一代超分辨光刻机通过验收

热心网友时间：2022-06-17 07:00

当前中国肯定是有自己的能力生产光刻机的，只是技术确实跟人家有一定的差别，这个也是没办法的，毕竟在这种高端科技上确实有差距的，只能慢慢的缩短距离

热心网友时间：2022-06-17 07:01

有，但是落后十几年

热心网友时间：2022-06-17 07:02

再过个二十年吧差不多能行现在清华也发力了嘛有戏