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光刻误差对数字电路的影响
发布网友
发布时间:2023-07-08 12:39
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热心网友
时间:2024-12-13 00:44
直接影响电路性能和生产成品率。根据查询《中国科学》杂志社发表的《光学临近效应矫正及其技术应用》文章得知,随着集成电路设计和制造进入超深亚微米(VDSM)阶段。特征尺寸已经接近甚至小于光刻工艺中所使用的光波波长,因此光刻过程中,由于光的衍射和干涉现象,实际硅片上得到的光刻图形与掩膜版图形之间存在一定的变形和偏差,光刻中的这种误差直接影响电路性能和生产成品率。
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