发布网友 发布时间:2023-07-23 06:32
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热心网友 时间:2024-11-19 01:38
常用的气闸压差设计有3中形式,即无压差(Cascade),正压差(Bubble),负压差(Sink)。无压差的气闸:即该气闸的进气和排气保持相等,同时取决于哪边的门先开,气闸内的压力将和先开门相邻的房间的压力保持一致。主要用在有洁净要求但污染问题比较少。或者有污染问题,但没有洁净要求。正压差的气闸:即该气闸内的压力保持一定的正压(通常比相邻的房间高5-8Pa)。由于该气闸的压力比相邻房间的压力高,存在一定的漏风情况,因此,该气闸的洁净度必须和相邻的洁净室保持一致。负压差的气闸,即该气闸的压力保持一定的负压(通常比相邻的房间低5-8P)。该气闸主要用来保护UC区,防止污染物扩散到房间外。