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在真空镀膜中氩气氧气氮气起什么作用1

发布网友 发布时间:2023-09-18 00:47

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热心网友 时间:2023-11-13 19:33

氩气是工作气体,它属于惰性气体不与其它气体产生反应,氧气用来氧化镀膜材料的,.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体,让真空室内压强和大气压强保持相等,才能开盖换靶镀另一层膜

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