真空镀膜行业中.氩气的流量大小具体如何控制?3

发布网友发布时间：2023-09-18 00:47

共3个回答

热心网友时间：2023-11-13 19:34

个人认为如下：

1.热式气体质量流量控制器（MFC），里面有个温度传感器和速度传感器，流量大小通过高性能比例电磁阀，通过0-5V电压调节阀芯开度大小或频率来精确控制介质的流量大小
2.热气气体质量流量控制器，AE流量计，可控量程2SCCM-200SLM，流量大小，客户只要是在这个范围的流量需求，都能为您选型，通过真空镀膜行业的一些客户了解到，他们一般使用的都是微小流量的MFC，集中在100SCCM/MIN 500SCCM/MIN 1000SCCM/MIN
3.进口压力：最大1Mpa 正常工作压力：0.5Mpa MFC不受气体的温度和压力影响它的精度和重复性精度，响应时间快1秒以内达到设定值
4.一般MFC都是以氮气标定的，如客户需要的是测量Ar流量，出厂时，厂家就按氩气标定好，也可提供氩气和氮气之间换算的比列系数，你只要乘以这个系数就可以，进气口压力大小都是一样的

可咨询一些真空镀膜行业相关技术员。例如肇庆振华真空机械有限公司。
肇庆市真空度膜行业是比较兴旺的。

这样才帮助的到你。

热心网友时间：2023-11-13 19:34

通过质量流量控制器来实现。国产的有七星华创等，进口的MKS，Brooks等。量程根据泵的抽速和真空室容积以及需要控制的压强值来选择，估计你用500sccm的肯定只大不小了。
同样适用于氮气，但标定值会略有差别。

进口压力小于0.2MPa就没问题，过大的话会损坏质量流量控制器。

热心网友时间：2023-11-13 19:35

采用溅射镀膜,