光刻胶正胶与酒精反应吗
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发布时间:2022-05-02 04:26
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热心网友
时间:2022-06-28 05:27
经过光反应后部分可以溶解,可以通过飞秒检测鉴定其结构和变化,正性光刻胶也称为正胶。正性光刻胶树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛,提供光刻胶的粘附性、化学抗蚀性,当没有溶解抑制剂存在时,线性酚醛树脂会溶解
在显影液中;感光剂是光敏化合,最常见的是重氮萘醌(DNQ)。在曝光前,DNQ是一种强烈的溶解抑制剂,降低树脂的溶解速度。在紫外曝光后,DNQ在光刻胶中化学
分解,成为溶解度增强剂,大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。这种曝光反应会在DNQ中产生羧酸,它在显影液中溶解度很高。正性光刻胶具有很
好的对比度,所以生成的图形具有良好的分辨率。