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纳米压痕技术的原理是什么?

发布网友 发布时间:2022-04-20 16:56

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热心网友 时间:2024-04-26 22:57

纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术是最简单的测试材料力学性质的方法之一在材料科学的各个领域都得到了广泛的应用
新兴纳米压痕方法是通过计算机控制载荷连续变化, 在线监测压深量, 由于施加的是超低载荷, 加上监测传感器具有优于1 nm 的位移分辨率, 所以, 可以获得小到纳米级的压深, 它特别适用于测量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为
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