发布网友 发布时间:2022-05-01 09:45
共2个回答
热心网友 时间:2022-06-27 19:10
一般多晶硅碳含量的单位有两个,1、ppma;2、 at/cm3。没有你说的那个吧。热心网友 时间:2022-06-27 19:10
付费内容限时免费查看回答一般多晶硅碳含量的单位有两个,1、ppma;2、 at/cm3。没有你说的那个吧。at/cm3是原子密度
半导体工业里定义硅每立方厘米硅中有5e22个硅原子
ppmw、ppbw是以质量计的浓度,w是weight(重量)
ppma、ppba是以原子数计的浓度,a是atom(原子)
如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为质量浓度(ppmw或者ppbw)
可以用:杂质的原子密度×杂质元素的原子量/(5e22×28)=杂质的质量浓度(ppmw或者ppbw)