什么是无油涡旋真空泵

发布网友发布时间：2022-05-01 07:06

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热心网友时间：2022-06-25 21:31

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20～40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜质量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用于泵相比，成品率存在明显的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染.科学仪器行业尤其是在分析测试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用无油涡旋真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外无油涡旋真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。现有无油涡旋真空泵用户的使用情况也证明了这种泵的优越性和可*性。
为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油.采用无油涡旋真空泵第一部需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要更换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的*。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。

参考资料：http://www.bafangbengye.com/a/technology/2011/0417/1367.html

热心网友时间：2022-06-25 21:31

不使用油来作循环和润滑的真空泵。

热心网友时间：2022-06-25 21:32

LH-CR和LH-CRR是由爪式干泵和罗茨真空泵组成的干式真空泵组，在<200Pa以内依然有较大的抽气速率。特别时候也用于抽可凝性气体和粉尘的环境。
应用领域：分子蒸馏、催化剂、橡胶合成、制药等。
优点：与油泵机组相比，可以长时间获得稳定的真空，并能全适应富含可凝性气体和粉尘环境，维护周期长