发布网友 发布时间:2024-05-06 10:29
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热心网友 时间:2024-11-24 03:46
半导体通信协议是SECS协议。但SECS协议仅提供了与通信有关的最低限度规定,未对设备的功能或操作进行标准化。因此,动作场景的规定是GEM协议的一部分。这一协议从1990年初开始适用于半导体工业,最初是基于8英寸标准为半导体晶圆设备操作而制定的。应用GEM标准的典型解决方案之一是Linkgenesis的“XGemPRO”。XGemPRO具有很好的可扩展性,适用于300mm、内联等,并且更容易适应GEM通信。