PECVD 是什么

发布网友发布时间：2022-04-21 06:34

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热心网友时间：2023-06-27 16:39

PECVD( plasma enhanced chemical vapor deposition )等离子体增强化学气相沉积
它是电池片生产过程中的一道工序，（电池片的生产工序主要有1.清洗制绒 2.扩散 3.刻蚀。4.扩散后清洗 5.PECVD 6.丝网印刷 7.测试分选）PECVD主要是对电池片的正极面进行镀膜从而加大电池片对光的吸收强度目前据我知道的它主要分为板式和管式两种工艺

热心网友时间：2023-06-27 16:39

PECVD--等离子体增强化学气相沉积法
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).

参考资料：http://ke.baidu.com/view/1321359.htm

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