PECVD是什么

发布网友发布时间：2022-04-21 06:34

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热心网友时间：2023-07-11 06:35

PECVD就是化学气相沉积法，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，PCEVD是等离子体增强化学气相沉积英文的各个词字母的首个字母。

热心网友时间：2023-07-11 06:35

1. P: plasma; E: enhanced； C：chemical；V：vapor；D：deposition（全名：等离子体增强化学气相沉积）；
2.原理：简单地说就是在平行电极之间加电场E，使得工艺气压电离，电离后的基元扩散到基底表面，进一步吸附堆积成膜……