电容式mems加速度传感器原理是什么

发布网友发布时间：2023-06-14 17:59

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热心网友时间：2024-11-24 21:43

MEMS加速度传感器是一种微机电系统（MEMS），它由一个可移动的悬臂梁、一个静电容器和一个固定的基座组成。悬臂梁上的电容器会受到外界加速度的影响而发生位移，从而改变电容器内的电荷分布。放在基座上的电容器则不会受到外界加速度的影响，因此电容器内的电荷分布不变。
当悬臂梁受到外界加速度时，电容器内的电荷分布会发生变化，这会导致电容器内电荷的变化，从而产生一个电压差。这个电压差与外界加速度成正比，因此可以通过测量这个电压差来推算出外界加速度的大小。
电容式MEMS加速度传感器的优点在于它的制造成本较低，并且可以通过改变电容器的大小来调节传感器的灵敏度。缺点在于它的精度较低，并且很容易受到温度影响。