微电子制造过程先进控制是什么

发布网友发布时间：2023-05-17 13:48

共1个回答

热心网友时间：2023-10-06 16:18

控制过程主要是指对膜层生长工艺，涂胶光刻工艺，刻蚀工艺，扩散、离子注入等工艺
进行在线控制和离线控制（inline，offline）在线包括膜厚、均匀性；线宽；氧化物和金属腐蚀速率方阻，颗粒数，表面缺陷扫面检查KLA SCAN 等进行控制；离线包含膜层应力测试、折射率测试、固定电荷、可动电荷测试、扫面电镜进行接触及腐蚀形貌，厚度等形貌检查。

声明：本网页内容为用户发布，旨在传播知识，不代表本网认同其观点，若有侵权等问题请及时与本网联系，我们将在第一时间删除处理。E-MAIL:11247931@qq.com