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集成电路腐蚀机理是什么
发布网友
发布时间:2023-05-27 13:33
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热心网友
时间:2024-10-14 06:58
集成电路腐蚀机理光刻胶来做保护。在集成电路制造过程中,需要光刻工艺将光刻版上的图形复制到硅片上,而腐蚀工艺则是通过光刻胶来做保护,最后完成图形复制的任务。腐蚀结果的好坏会直接影响到硅片上的图形,这些图形则最终会在电路制作完成后对电路造成不同程度的影响。对于不同的材料,腐蚀工艺需要根据不同的腐蚀结果选取不同的腐蚀液或腐蚀气体,并通过大量的实验得到最佳的腐蚀结果。
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