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简述扫描隧道显微镜发明前微观表面形貌检测技术有哪几种

发布网友 发布时间:2023-01-12 17:22

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热心网友 时间:2023-11-01 19:45

第一类是光成像,包括光折射放大成像和光干涉成像。 光折射放大成像检测方法的代表是光学显微镜和透射电 子显微镜;光干涉成像法的代表是光干涉显微镜和 TOPO移相干涉仪。
第二类是对试件表面进行扫描,逐 点检测,从而获得表面微观形貌的信息,这一类检测方 法的代表是表面轮廓仪和扫描电子显微镜(SEM)
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