光刻焦深和分辨率之间的关系?

发布网友发布时间：2023-05-16 11:21

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光刻焦深和分辨率之间的关系是成反比的。光刻中，分辨率被定义为清晰分辨出硅片上间隔很近的特征图形对的能力。分HAT2016R辨率对于任何光学系统都是一个重要的参数。焦点周围有个范围，在这个范围内图像连续地保持清晰，这个范围被称为焦深或DOF(DcpthofFoctls)。光刻工艺中，焦深应穿越光刻胶层上下表面，其表达式如下：D°F=×NA`，焦深方程式的含义：如果分辨率提高了，焦深就会减小。然而焦深的减小严重缩减了光学系统的工艺宽容度。

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