真空镀膜扩散泵喷油为什么？是从扩散泵上面喷出来的
发布网友
发布时间：2022-04-22 14:14
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热心网友
时间：2023-08-01 16:42
如果是初级真空就喷油，或者泵是要检查一下了，或者抽初真空会相对时间长些，抽到一定值后扩散泵喷油是由于真空机没有完全合拢，球形真空合拢，卫生及缝隙都不应该有，有没有异响，加热油打开，那么估计是仪表问题，这时你要检查接缝卫生了
还有如果球形合拢都没问题，那么就是有辅助泵没工作
再如果是抽高真空时候喷油，一级泵开始抽粗真空，那么高真空是抽不上去的，二级真空泵打开，如果有此情况，你里面的空气还是太多了，具体操作应该是这样的
