为什么管式PECVD（CT）在做156单晶（做双层膜），在第二次镀膜时候射频电源（功率6800）会报警啊？

发布网友发布时间：2022-06-01 04:20

共2个回答

热心网友时间：2023-11-22 17:41

是什么报警？反射过大吗？如果发射过大，建议增加Stable步，原因是等离子体阻抗突变引起的。追问射频2次报警啊，如何增加Stable步啊？

追答增加工艺气体稳定的时间。

热心网友时间：2023-11-22 17:42

电流超过报警值了吧

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