溅射技术作为薄膜材料制备的主流工艺,都应用在哪些领域?

发布网友发布时间：2022-04-23 02:01

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热心网友时间：2023-07-15 00:51

溅射靶材的种类较多,即使相同材质的溅射靶材也有不同的规格.按照不同的分类方法,能够将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:

按形状分类:长靶、方靶、圆靶

按化学成份分类: 金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)按应用领域分类: 半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材.

在溅射靶材应用领域中,半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准,需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品,因此,半导体芯片对溅射靶材的要求是最高的,价格也最为昂贵;相较于半导体芯片,平面显示器、太阳能电池对于溅射靶材的纯度和技术要求略低一筹,但随着靶材尺寸的增大,对溅射靶材的焊接结合率、平整度等指标提出了更高的要求.此外,溅射靶材需要安装在溅射机台内完成溅射过程,溅射机台专用性强,对溅射靶材的形状、尺寸和精度也设定了诸多*.

热心网友时间：2023-07-15 00:51

溅射技术是一种常用的薄膜材料制备技术，广泛应用于以下领域：

1. 半导体工业：溅射技术可以用于制备半导体器件中的金属、金属氧化物、金属氮化物等材料的薄膜，包括通用金属薄膜、电极材料、金属导线、光阻材料等。

2. 光电子工业：溅射技术可用于制备光电子器件中的材料薄膜，如透明导电薄膜、光学膜、滤光膜、红外膜、薄膜太阳能电池等。

3. 磁性材料工业：溅射技术可用于制备磁性材料中的铁磁性和反铁磁性薄膜，如磁头、磁盘、传感器、磁存储器等。

4. 机械工业：溅射技术可用于制备防磨损、防腐蚀、防反射等特殊功能的材料薄膜，如刀具涂层、汽车零部件、涂层耐磨防腐蚀等。

5. 生物医学工业：溅射技术可用于制备生物医学中所需要的材料薄膜，如人工骨骼、牙科材料、生物芯片等。