什么是靶材?
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发布时间：2022-04-23 02:01
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热心网友
时间：2023-10-15 04:36
靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
目前，（纯度）溅射靶材按照化学成分不同可分为：
1）金属靶材（纯金属铝、钛、铜、钽等）。
2）合金靶材（镍铬合金、镍钴合等）。
3）陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。
按开关不同可分为：长靶、方靶、圆靶。
按应用领域不同可分为：半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。
金属靶材的铝、钛、铜、钽，在半导体晶圆制造中，200mm( 8寸）及以下晶圆制造通常以铝制程为主，使用的靶材以铝、钛元素为主。300mm( 12寸）晶圆制造，多使用先进的铜互连技术，主要使用铜、钽靶材。
热心网友
时间：2023-10-15 04:36
靶材是制备薄膜的主要材料之一。
利用高速荷能粒子轰击目标材料，与不同的激光（离子束）和不同的靶相互作用，获得不同的膜系，实现传导和阻隔功能。
因此，靶材也被称为“溅射靶材”。
离子源产生的离子在真空中加速并聚集，形成高速能量离子束，它轰击固体表面，离子与固体表面上的原子发生动能交换，使固体表面上的原子离开固体，沉积在衬底表面。被轰击的固体是溅射靶。主要应用于集成电路、平板显示器、太阳能电池、记录介质、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求较高。
全品类靶材图
