那位高手有硅桥压力变送器的原理?
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发布时间：2022-11-11 11:45
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热心网友
时间：2024-11-02 12:30
简单的说就是将左图的扩散硅固定到测量膜片上，是它在膜片受力时各个方向上阻值发生不同变化，并右图电路的形式将变化检出。
实际上扩散硅的固定的形式多样，从用胶粘的到用离子束植入金属膜片中的都有；
检出方式也多样，有如图直接使用桥路电压的，也有将桥臂代入高频振荡电路，通过频率差检出的。
所以同样号称采用扩散硅技术的变送器，价格从百把元到上万的都有。
