请教XPS仪器参数所表示含义

发布网友发布时间：2022-04-29 21:26

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热心网友时间：2022-06-23 03:46

1）单色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W 这后面最大100瓦指得是物理含义。
100W指X-Ray功率，功率越大灵敏度越高，但是功率过大会影响阳极靶使用寿命。通过你给的数据，可以推测出事用PHI 5000 Versaprobe II型号XPS测试，此为此款的高能模式，通常用来检测低含量元素。

2）Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米，实测以100微米检测好不好？
测试束斑大小通常和你关注的空间分辨率有关，如果你想看几十微米的区域，选择用小束斑，但如果你关注大面积的元素及化学状态的分布，就没有必要选择小束斑的X-ray，因为束斑越小，光电子产额越少，信号强度越低。此款的高能模式预设的X-ray直径为100微米。用电子*快速在阳极靶扫描产生X-ray射线，扫描的长度为1.4mm。

3）Detect angle (take off) : 45 这个角度怎么定义的？

take off angle指探测器与样品法线间的夹角，这个和光电子强度以及信号来源深度有关系，这个指标与你测得样品特性可能无关，不用在意。

4） Pass energy: 58.7eV, 带通能量是说明什么，这个值是大还是小了？

通过能是指减速后通过能量分析器的电子能量。此项指标越高，灵敏度越好，能量分辨率越差，反之则灵敏度降低，能量分辨率提高。PHI 5000 Versaprobe II的通能范围为2.95~187ev。是大是小要看你是否能够区分你要测试的元素及其化学状态的信息。

5）Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 这里的分辨率既然是以银为为准，0.59eV是大还是小；是否还有其它的分辨率作基准的？

Ag作为标准样品来检测仪器的能量分辨率。此款的极限能量分辨率为Ag3d5/2 peak 小于0.5ev。是否合适同样还是要看你需要测试的元素及化学状态是否能分开。