气体质量流量计是否好用,有什么优点及注意事项??
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发布时间：2022-04-29 18:48
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时间：2022-06-19 18:57
MFM/MFC具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽、操作简便等特点，可任意位置安装，可与D088系列流量积算仪配套，由其向MFM/MFC提供电源，并进行显示或控制；也可与计算机等连接，实现自动控制。
气体质量流量计测量的是气体的质量流量，在气体压力变化的情况下，质量流量控制器能够精确地控制气体的流量，就是因为它测量的是气体的质量流量，而不是体积流量。
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量的单位为：
SCCM—标准毫升/分钟
SLM—标准升/分钟
气体的标准状态为：0℃，101.325KPa
因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，密度乘以体积流量就是质量流量，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
注意事项
禁用流量介质
使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时在气路中加装过滤器干燥器等。如果MFC或MFM出口接有液体原瓶，应在流量出口加装单向阀，防止液体回流损坏MFC或MFM。
使用腐蚀性气体问题
MFC或MFM通道材料为0Cr17Ni14Mo2(相当于316L不锈钢)，氟橡胶等。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可测量一般的腐蚀性气体。使用于氨气、有机溶剂蒸汽（如丙酮等）或其它强腐蚀性气体（如BCL3、BBr3等）时，应在订货时特殊注明，以便更换密封材料。
阀门密封问题
MFC的电磁阀是调节阀，不是截止阀，不能当截止阀使用，用户应另配截止阀。特别是使用腐蚀性气体时，通常应在MFC进出口处各加一个截止阀，以保证安全。长期工作后，如MFC阀口的漏气率在2%FS以内，属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%，则应予以维修。
阀控操作问题
在操作阀门进行清洗后，不能直接转至“阀控”位工作，必须先将阀门置于“关闭”位，然后再转至“阀控”位工作。
安装位置问题
气体质量流量计/控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平安装时如发现零点偏移，可调整零点后再工作。如果用户订货时注明安装位置，我公司可依此标定后出厂。
注意工作压差
对于MFC要特别注意工作介质的气压，应注意使MFC进出气两端的工作压差保持在治标范围内。特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的MFC时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，如工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。
